2000℃溫度可控型30KW感應(yīng)加熱爐SP-85KTC
產(chǎn)品簡介：
2000℃溫度可控型 30KW 感應(yīng)加熱爐 SP-85KTC 是一款較大型高溫感應(yīng)加熱、熔煉爐系統(tǒng)，配 備 30KW 感應(yīng)加熱器、8.5"（216mm）石英管、鉸接式法蘭及閥門、石墨坩堝、石墨毯、氧化鋁保溫毯、16L/min 循環(huán)冷水機(jī)、真空泵和移動(dòng)爐架， 最高溫度可以達(dá)到 2000℃ （使用時(shí)石英管內(nèi)需通入保護(hù)性氣體） ，是生 長晶體、金屬熔煉和各種材料的熱處理的絕佳選擇。
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產(chǎn)品型號(hào) |
2000℃溫度可控型 30KW 感應(yīng)加熱爐 SP-85KTC |
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安裝條件 |
本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電： AC380V 50Hz（63A 空氣開關(guān)），必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上） ，需自備氬氣氣瓶（自帶 6mm 雙卡套接頭） 4、工作臺(tái)： 尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
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主要特點(diǎn) |
1 、采用多塊氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。 2、設(shè)有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù)系統(tǒng)。 3 、溫控器采用 PID 方式控溫， 可設(shè)置 30 段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。 4、配有防腐型真空計(jì)， 當(dāng)氣壓在 10mbar 以上時(shí)，不需因測量氣體種類的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換， 量程可到 3.8×10E-5torr。 5 、迷你型浮子流量計(jì)精度為 4%。 |
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6、配有雙級(jí)旋片機(jī)械泵（2L/s）， 可使石英管內(nèi)真空度達(dá)到 10E-2torr。 |
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技術(shù)參數(shù) |
感應(yīng)加熱器 1、工作電壓： 三相 AC 380V 50Hz（需 60A 空氣開關(guān)） 2、工作電流： 7Amps-70Amps（需 100A 空氣開關(guān)） 3、功率： 最大振蕩功率 30KW ，最大輸入功率 15KW 4、輸出頻率： 30KHz-110KHz 5、占空比： 80% 6、感應(yīng)線圈： 內(nèi)徑 Ø220 mm ，高 65 mm 7、空氣冷卻：后風(fēng)扇 溫度控制器及熱電偶 1、工作電壓： AC208V-240V 單相 2、控溫精度：±3℃ 3、熱電偶： C 型， 外徑 Ø1/4" ，長 10" 4、連續(xù)工作溫度范圍： 1000℃-2000℃ 5、最大升溫速率： 4℃/s（ 1000℃-1200℃） 、3℃/s（ 1200℃-1500℃） 、1℃/s-2℃/s（ 1500℃-2000 ℃） |
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石墨坩堝（易耗件） 1、高純石墨坩堝： 外徑 Ø114mm ，內(nèi)徑 Ø100mm ，高 142mm 2、最大容量： 樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的 1/2 ，最大質(zhì)量為 4kg （以鐵標(biāo)定） 3、保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料， 從內(nèi)至外分別為石墨氈（可耐溫 2200℃） -氧化 鋁（可耐溫 1700℃） -高溫氈， 總厚度為 32mm |
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石英管和密封法蘭 1、石英管：兩端開口， 外徑 Ø216mm ，內(nèi)徑 Ø208mm ，長 500mm 2、頂部法蘭：采用不銹鋼折疊式法蘭， 裝有防腐型真空計(jì)、不銹鋼截止閥， 設(shè)有 1 個(gè) 1/4"的 鎧裝接口（可插入熱電偶至石英管內(nèi)部，更準(zhǔn)確地測量樣品溫度） 3、底部法蘭： 設(shè)有 KF25 接口，可通過波紋管與真空泵相連接 |
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水冷機(jī) 1、溫度： 5℃-30℃ 2、水流速： >16L/min 3、水箱容積： 12L，采用不銹鋼制作 4、水壓：≥0.1MPa 5、流量：≥5L/min 建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到最佳的冷卻效果）
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真空泵 工作電壓： AC208V-240V 單相 |
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移動(dòng)爐架 尺寸： 700mm×1000mm×700mm，鋼框架結(jié)構(gòu)，方便移動(dòng)感應(yīng)加熱器和帶法蘭的石英管 |
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產(chǎn)品規(guī)格 |
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注意事項(xiàng) |
操作前，必須仔細(xì)閱讀說明書，且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí)，熔煉必須在≤0.02Mpa 的 流動(dòng)氬氣下進(jìn)行，流量小于 200ml/min ，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa 。升溫過程中需 時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓，若氣壓超過安全值，會(huì)引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身 傷害。 | |
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其他事項(xiàng) |
本機(jī)可改為 RTP （快速熱處理爐） 和混合物物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。請(qǐng)參看下圖。
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