真空熱壓爐OTF-1200X-VHP4
產(chǎn)品簡(jiǎn)介： 真空熱壓爐 OTF-1200X-VHP4 是在真空高壓下制備致密化合物材料的理想工具， 在 5T 壓力下 可鍵合多層基片。本機(jī)可以加熱到 1100 ℃，并設(shè)有 30 段控溫程序。
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產(chǎn)品型號(hào) |
真空熱壓爐 OTF-1200X-VHP4 |
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安裝條件 |
本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 |
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1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電： AC380V 50Hz（63A 空氣開(kāi)關(guān)），必須有良好接地 3 、氣： 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上） ，需自備氬氣氣瓶（自帶 Ø6mm 雙卡套接頭） 4、工作臺(tái)： 尺寸 1500mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要 |
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主要特點(diǎn)
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1、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。 |
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2、石英管兩端設(shè)有帶水冷的法蘭。 |
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3 、在石英管內(nèi)真空環(huán)境下，通過(guò)底部可調(diào)整彎管移動(dòng)液壓柱，將壓力傳輸?shù)侥＞摺?/span> |
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技術(shù)參數(shù)
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1、輸入電源： AC 220V 50Hz/60Hz 6KW |
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2、輸出功率： 2.2KW |
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3、石英管： 外徑 Ø100mm ，內(nèi)徑 Ø95mm ，長(zhǎng) 1200mm |
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4、加熱區(qū)域： 300mm
5、最高工作溫度： 1100℃ |
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6、控溫精度：± 1℃
7 、電動(dòng)壓力泵最大負(fù)載： 20T
8、氣缸： Ø25mm
9、可移動(dòng)行程： 15mm
10、最大壓力： 6T（壓力表顯示 10MPa）
12、真空度： 10-2torr （機(jī)械泵）， 10-5torr （分子泵） |
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產(chǎn)品規(guī)格 |
尺寸： 1050mm×750mm×1750mm；重量： 365kg |
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可選配件
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1、真空泵
2、循環(huán)水冷機(jī) |
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3、耐高溫壓力模具 |
