HVU和HV吸氣泵（復(fù)合泵）系列
產(chǎn)品介紹：
EMGHV系列吸氣泵是以高吸氣速率、大吸氣量以及良好機(jī)械性能的燒結(jié)性多孔吸氣劑為基礎(chǔ)組裝而成。與以前吸氣泵相比，此類采用新的法蘭設(shè)計(jì)，使得整個(gè)泵體組裝集成度更高、更簡單，穩(wěn)定性更好。所采用的吸氣材料具備更高的孔隙率，特別是所提供的吸氣元件，具備多次吸氣激活周期，從而延長了吸氣泵的使用壽命。此類泵的抽氣速率可根據(jù)客戶環(huán)境需要選配，100L/s~2000L/s。并可根據(jù)用戶工況，與小型離子泵組配成復(fù)合泵使用。
EMGHV系列吸氣泵特色：
1，大吸氣量、長壽命；
2，在高真空，超高真空以及極高真空中有持續(xù)優(yōu)異的吸氣速率；
3，氫氣及其同位素吸放可逆，據(jù)此可作為氫泵使用；
4，吸氣泵通過適當(dāng)?shù)墓に嚰せ詈罂稍诃h(huán)境溫度（室溫~200oC）
下工作，無需外接電源，真正實(shí)現(xiàn)便攜；
5，無油、無任何振動(dòng)；
6，體積小、質(zhì)量輕。
應(yīng)用場景：
可與離子泵、擴(kuò)散泵、冷泵或分子泵搭配，提高極限真空；
真空裝置、真空夾層以及鍍膜沉積腔體；
便攜式高真空存儲(chǔ)器件。
