GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀
產(chǎn)品簡介： GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的最簡單、 可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。本機(jī)特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)安裝了三個(gè)靶， 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可依次在同一樣品上 涂覆三種材料。因此，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃， 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 |
主要特點(diǎn) | 1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電 離氣體，以獲得最佳鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。 |
5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻 純凈。 |
6 、已通過 CE 認(rèn)證。 | |||
技術(shù)參數(shù) | 1、靶： ?45mm | ||
2、真空室： ?160mm×120mm 3、最高真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位： 3 個(gè) 5、最大電流： 50mA 6、可設(shè)定最長時(shí)間： 900s | |||
7、微型真空氣閥： 連接 ?3mm 軟管 8、最高電壓： 1600V DC 9、機(jī)械泵： 2L/s | |||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1 個(gè) |
2 | 銅靶材 | 1 個(gè) | |
3 | 鋁靶材 | 1 個(gè) | |
4 | 進(jìn)氣針閥 | 1 個(gè) | |
5 | 保險(xiǎn)絲 | 2 個(gè) | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
