GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm ，鍍膜厚度可達(dá)300Å，特別適用于SEM 樣品表面的鍍膜。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn) 象；陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀體積小，操作簡(jiǎn)單，適合用于實(shí)驗(yàn)室中對(duì)小樣品的鍍膜使用。
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產(chǎn)品名稱 |
GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 |
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產(chǎn)品型號(hào) |
GSL-1100X-SPC-16 |
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安裝條件 |
本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，,承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 |
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主要特點(diǎn) |
1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得極佳的鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。 5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
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技術(shù)參數(shù) |
1、電源： 220V 2、總功率： <2000W （包括真空泵） 3、真空室： Ø160mm×120mm 4 、樣品臺(tái)： Ø50mm，且高度可調(diào)， 可同時(shí)進(jìn)行 8 個(gè) SEM 樣品的鍍膜 5 、max 均勻鍍膜： Ø45mm |
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產(chǎn)品規(guī)格 |
尺寸： 400mm×300mm×400mm；重量： 30kg |
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標(biāo)準(zhǔn)配件 |
1 |
金靶材 |
1 個(gè) |
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2 |
進(jìn)氣針閥 |
1 個(gè) |
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3 |
保險(xiǎn)絲 |
2 個(gè) |
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可選配件 |
金、銦、銀、鉑等各種靶材 |
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