GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀

產品簡介： GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據二極（DC）直流濺射原理設計而成的最簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。本機特別之處是在一個真空室內安裝了三個靶，旋轉樣品臺可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實驗室各種復合膜樣品的制備，以及非導體材料實驗電極的制作。

產品型號	GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀
安裝條件	本設備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通風裝置：不需要
主要特點	1、設有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得最佳鍍膜效果。 3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
	5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

	6 、已通過 CE 認證。
技術參數	1、靶： ?45mm
	2、真空室： ?160mm×120mm 3、最高真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位： 3 個 5、最大電流： 50mA 6、可設定最長時間： 900s
	7、微型真空氣閥：連接 ?3mm 軟管 8、最高電壓： 1600V DC 9、機械泵： 2L/s
標準配件	1	金靶材	1 個
	2	銅靶材	1 個
	3	鋁靶材	1 個
	4	進氣針閥	1 個
	5	保險絲	2 個
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材